工业级量产型全波长椭偏仪(SOPRA/SE-FPD)
规格（SPECIFICATION）：
- For Semicoductor & FPD up to 12″ and G7
应用（APPLICATION）：
- SOLAR CELL:AR-Coating
- TFT-LCD:SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
- SEM:High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
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