反射式膜厚量测仪(SR)
规格(SPECIFICATION):
- 波长范围: 340~1040nm
- 重复性 : ± 1%
应用(APPLICATION):
- 太阳能电池:减反膜工艺
- TFT-LCD:SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo
Resists,ITO Polyimide…
- LED: SIOx, SiNx,ITO…
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