全波长椭偏仪(SE)

  规格（SPECIFICATION）：

       - 波长范围：350~850 nm

       - 入射角：30°~90° （解析度：± 0.01°）

       - 待测样品尺寸：up to 200mm

       - 精度：1200A SiO2 标准片

         - 厚度 （Tks）: ± 2.5 A （3σ）

         - 折射率 (N)：± 0.01@ 632.8 nm

       - 重复性:1200A SiO2 标准片 ( 5 times)

          - 厚度 : ± 2.5 A （3σ）

          - 折射率 : ± 0.005 @ 632.8 nm.

  应用（APPLICATION）：

       - 太阳能电池: 减反膜工艺

       - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...

       - SEMI:

       - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2

       - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …